机译:厚本征和超薄磷或掺杂硼的微晶硅膜的低温生长:太阳能电池应用的最佳结晶度
机译:先进的低电子温度微波激发高密度等离子体系统在低温(400)和高生长速率下用于半导体器件制造的氧化硅和氮化硅薄膜的生长
机译:硼和磷掺杂的硅锗合金纳米晶体—非热等离子体合成和气相薄膜沉积
机译:低温等离子体合成纳米晶体及其在结晶硅和锗薄膜生长中的应用
机译:通过微波等离子体沉积技术的薄膜硅:非晶硅/晶体硅太阳能电池中的生长和器件以及界面效应。
机译:揭示一种低温合成硅纳米晶体和单片纳米晶体薄膜的简单方法
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机译:低温脉冲等离子体沉积。第2部分。薄膜中锗的新型无定形化合物的制备